Vägledande öga för MEMS

Problem: För att se till att de riktar in sig på de rätta delarna av hornhinnan under synkorrigerande Lasik-kirurgi, litar läkarna på en skanner som reagerar på ögonrörelser och omdirigerar laserpulser. Dagens skannrar kostar tusentals dollar och erbjuder fortfarande mindre än idealisk precision.

Cirkulära speglar snidade i kisel styrs av rörelser av kamformade strukturer. (Med tillstånd av Hyuck Choo)

Lösning: Vid University of California, Berkeley, använde forskare vid Microfabrication Laboratory billiga tekniker för att bygga en mikroskanner som rör sig upp till 30 000 gånger per sekund, upp från 4 000 gånger per sekund för konventionell teknik. Doktorandstudenterna Hyuck Choo och David Garmire uppfann ett sätt att skära en bit kisel i två sammankopplade comblike-strukturer. Att lägga en spänning på en kam gör att den andra rör sig uppåt eller nedåt. En spegel fäst vid kammarna omdirigerar en laserstråle. Medan kamdrifter redan används i vissa mikroelektromekaniska system (MEMS), har kammarna behövt byggas på separata kiselskivor och kilas ihop manuellt. Eftersom den nya enheten är lätt att tillverka är detta inte bara ett stegvis steg utan en stor utveckling, säger Roger T. Howe, elektriker vid Stanford University som uppfann kamdrevet på 1980-talet. Choo säger att tekniken kan inkorporeras billigt i kirurgiska skannrar och andra enheter.

Dölj